□高濃度オゾン水 流水試験の受託 お急ぎの試験に即対応! 休日対応可能
●オゾンの試験や研究のために、高価なオゾン設備を導入する必要はありません。
●素材の耐オゾン性・オゾン劣化を検証する試験が可能です。
●生産ラインに於けるオゾン処理の効果を、事前に検証することが可能です。
●シリコンウェハ 表面酸化皮膜形成 有機物除去 有機膜処理 レジスト剥離
●短期・中期・長期の多種・多用な評価試験に対応します。
●試験用のオゾン水は、純水に不純物を含まないクリーンなオゾンガスを溶解しています。
●試験手順などのご提案もしますので、お気軽にご相談ください。
●試験で期待する効果が得られた場合、生産ラインに最適な設備をご提案します。
●新製品や新規開発商品などに関しては、NDA(秘密保持契約)を締結してから試験の相談等も承ります。
■高濃度オゾン水 流水試験装置
●システム・ブロック図(例:水電解方式)
- オゾン水濃度:1〜100ppm
- オゾン水流量:0.1〜2L/min
●高濃度オゾンモニタ(紫外線吸収式)
●高濃度オゾン水生成(100mg/L)
■流水によるオゾン水暴露試験
- オゾン消費量の多い部材の劣化試験に向いています。
- 生成直後のピュアな高濃度オゾン水が、連続的にテストピースに接液します。
- 入力オゾン水と出力オゾン水の濃度が、同一になるように流量を設定します。
- 短時間(1分間〜24時間程度)での試験に向いています。